Galvenā atšķirība starp PVD un CVD ir tā, ka PVD pārklājuma materiāls ir cietā formā, savukārt CVD - gāzveida.
PVD un CVD ir pārklājuma paņēmieni, kurus mēs varam izmantot, lai uz dažādām pamatnēm uzklātu plānas plēves. Substrātu pārklājums ir svarīgs daudzos gadījumos. Pārklājums var uzlabot pamatnes funkcionalitāti; ieviest pamatnē jaunu funkcionalitāti, pasargāt to no kaitīgiem ārējiem spēkiem utt., tāpēc šīs ir svarīgas metodes. Lai gan abiem procesiem ir līdzīga metodika, PVD un CVD ir maz atšķirību; tāpēc tie ir noderīgi dažādos gadījumos.